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共1条 1快速退火炉系统的国内外研究现状
快速退火炉系统的国内外研究现状在国外，由于半导体产业发展较迅速，对快速退火炉系统的研究起步比较早。世界上实用的快速退火炉系统是由半导体制造商Varian公司在1981年推出。目前在国外快速退火炉主要生产和研究单位有MPT、应用材料、AG,Mattson等公司;德国的AST,法国..
新闻中心 - dianlu360.com - 2013/1/23 13:25:54